晶圆卡盘
一.静电晶圆卡盘
ESC 利用静电力将晶圆或衬底牢固地固定在加工设备的真空环境中。这种方法消除了与传统机械夹紧方法相关的潜在损坏，这些损坏可能会划伤精细表面或诱发应力断裂。与真空吸盘不同，ESC 不依赖于压差，从而在晶圆处理方面实现更大的控制和灵活性。
使用E-Chuck 的7大好处 :
E 卡盘具有许多优点，使其成为制造过程中不可或缺的工具。以下是其中的七大优势：
1.非机械夹紧：E 卡盘提供了一种通过利用静电力固定物体的独特方法，无需像传统机械夹具那样需要物理压力。这种创新的非机械夹紧方法不仅可以保护易碎的材料，而且无需笨重的夹紧机构即可保持接触，从而节省宝贵的空间。
2.均匀的夹紧力： E 型卡盘在物体的整个表面提供一致且稳定的夹紧力，确保安全抓握和稳定性。它们均匀压平晶圆的能力非常出色，超过了真空夹具的性能，后者通常难以实现平坦的表面。这种均匀性对于在整个制造过程中保持基材的完整性和平整度至关重要。
3.温度控制：静电吸盘的另一个显着优点是能够在制造过程中控制温度。E 卡盘根据需要使用电力加热或冷却基板。这种能力确保了最佳的加工条件，并减少了敏感材料的热应力。
4.多面性：E 卡盘具有很强的适应性，适用于各种材料、形状和尺寸。无论是固定半导体晶片、平板显示器还是织物材料，电子卡盘都能提供多功能的夹紧解决方案。
5.减少颗粒污染： E 型卡盘无需与物体进行物理接触，从而最大限度地降低了洁净室环境中颗粒污染的风险。这种能力在半导体制造中至关重要，因为即使是微小的颗粒也会影响芯片的性能和良率。
6.提高生产率：E 卡盘通过提供安全稳定的夹紧来帮助提高工业生产率。它们的精确控制和可靠性最大限度地减少了由于材料处理错误而导致的停机时间。因此，电卡盘提供了更高的效率。
7.成本效益：尽管 e E卡盘所需的初始投资高于传统的机械夹具，但其长期成本效益非常出色。与真空吸盘相比，它们显著减少了材料浪费，提高了工艺产量，并且维护成本更低。此外，监视器和传感器的结合为作员提供了实时性能数据，从而改善了维护计划和运营效率
二.典型应用场景
四Wafer Chuck 的常见类型
01/低漏电卡盘
P/N:CFA20230010
02/高低温卡盘
PN:JZA20230003
03/高压大电流卡盘
PN:CFA20240015
04/密孔卡盘
PN:CFA20240008
05/快速更换顶盘式卡盘
PN:CFA20240019
06/温度控制系统
PN:CF-H01
07 / 新型封装卡盘定制
PN:CFA20250014
用于先进芯片封装的多路精准温控测试方案
◆ 整套测试解决方案设计
◆ 提供方案模拟分析
◆ 测试技术支持
08/激光修阻设备卡盘定制
PN:CFA20230014
用于修阻设备的定制卡盘
◆ 漏电流0.00001mA
◆ 多路温度控制精度±1℃
◆ 使用温度常温~150℃
09/薄膜检测设备卡盘定制
PN:CFA20240021
用于薄膜检测设备的定制卡盘
◆ 提供485通讯
◆ 多路温度控制精度±1℃
◆ 使用温度常温~150℃
10/其它类定制设计
PN:CF-DZ01
提供各种卡盘设计服务
◆ 专业设备材料分析
◆ 三次元数据测量
◆ 模型仿真分析
11/ 卡盘加工服务
PN:CF-DZ02
提供各种卡盘加工服务
◆ 专业设备材料分析
◆ 专业设备表面材料分析
◆ 高精度检测设备
◆ 五轴金属加工设备、平面研磨设备、PVD镀膜等
12/ 卡盘维修翻新服务
PN:CF-DZ03
提供各种卡盘维修翻新服务
◆ 平面度、平行度等行为尺寸处理
◆ 表面粗糙度、光泽度处理
◆ 表面镀层翻新
◆ 加热盘维修